Специалисты Института ядерной физики им. Г. И. Будкера СО РАН в Новосибирске планируют восстановить технологический накопительный комплекс

Фото: inp.nsk.su

Институт ядерной физики им. Г. И. Будкера в Новосибирске планирует восстановить технологический накопительный комплекс (ТНК) в Зеленограде за три года. По информации «Интерфакса», комплекс будет использоваться для разработки отечественной технологической цепочки производства микроэлектроники

ТНК представляет собой источник синхротронного излучения и является основным инструментом для создания, испытания и отладки технологии литографов для производства микросхем. Установка не была запущена в 1990-х годах из-за развала Советского Союза.

Стоимость проекта составит около 500 млн рублей.

Кроме того, специалисты института начали работу над созданием ускорительной части отечественного имплантора для микроэлектроники в сотрудничестве с НИИ точного машиностроения в Зеленограде.

Ожидается, что обе технологии будут запущены в работу по истечении трех лет. Они могут стать ключевыми в микроэлектронной промышленности России.